Berikut daftar Camat yang pernah memimpin Kecamatan Cariu :
1. H. Nawawi (Tahun - 1973)
2. Sadikin, BA (Tahun 1973-1977)
3. Adjat Sudarjat (Tahun 1977 -1978)
4. Didi Rustandi (Tahun 1978 - 1980)
5. Dedi Setiadi (Tahun 1980-1984)
6. Yuyn WS, BA (Tahun 1984-1988)
7. Nana Sudjana , BA (Tahun 1988-1989)
8. Drs. Adjat Sudradjat (Tahun 1989-1994)
9. Drs. Tutun Sufian Sulaeman (Tahun 1994-1998)
10. Drs. Burhanudin (Tahun 1998-2001)
11. Tutang Badrutaman, BA (Tahun 2001 - 2004)
12. Isak Efendi, S.IP (2004-2007)
13. Drs. Agus Manjar, M.Si (Tahun 2007-2008)
14. Iwan Erawan, SE, M.Si (Tahun 2008-2009)
15. Drs. Haris Wijaya (Tahun 2009-2010)
16. Drs. Didin Wahidin (2010 - sekarang)